本书作为微机电系统工程的入门教材,介绍微机电系统加工工艺及设计基础。全书共11章:第1章介绍微机电系统的概念、历史及发展趋势；第2章介绍微纳工程材料基础；第3章介绍光刻技术及其他优选图形化技术；第4章介绍表面微纳加工技术,包括热氧化与掺杂工艺、物理气相沉积、化学气相沉积和电铸技术；第5章介绍微纳刻蚀加工技术,包括湿法加工、等离子体刻蚀等；第6章介绍键合、封装工艺及其与集成电路的集成技术；第7章为微纳加工工艺综合,举例介绍典型结构的微纳加工工艺流程；作为微机电系统的设计基础,第8章介绍电子学与机械学的基本概念；第9章讲解换能器原理与典型材料结构；第10章以压力传感器为例介绍MEMS传感器设计；第11章简介微纳驱动器和执行器的基本原理与前沿应用案例。
本书具有很强的针对性、实用性和指导性,可以作为高等院校微机电系统工程专业的本科生及研究生教材,也可以作为从事微机电系统、微电子、传感器技术等专业工程技术人员的参考书。
第1章微机电系统概述
1.1微机电系统的概念
1.2微机电系统工程的历史
1.3微机电系统工程的发展趋势
练习题
第2章MEMS材料基础
2.1硅及其化合物
2.2玻璃
2.3压电材料
2.4磁性材料
2.5形状记忆合金
2.6光刻胶
2.7有机聚合物材料
练习题
第3章光刻及图形转移
3.1光刻的基本原理与流程
3.1.1光刻的基本原理
3.1.2光刻的基本过程
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