本书以作者近年来的研究成果为基础，结合国际研究进展，系统地介绍了金刚石超宽禁带半导体器件的物理特性和实现方法，重点介绍了氢终端金刚石场效应管器件。全书共8章，内容包括绪论、金刚石的表面终端、氢终端金刚石场效应管的原理和优化、金刚石微波功率器件、基于各种介质的氢终端金刚石MOSFET、金刚石高压二极管、石墨烯/金刚石复合器件及金刚石半导体器件的展望。
本书可供微电子、半导体器件和材料领域的研究生与科研人员阅读。
第1章绪论
参考文献
第2章金刚石的表面终端
2.1氢终端金刚石表面
2.2氧终端金刚石表面
2.3氟终端金刚石表面
2.4氮终端金刚石表面
参考文献
第3章氢终端金刚石场效应管的原理和优化
3.1氢终端金刚石表面导电沟道
3.1.1氢终端金刚石表面导电沟道的形成机理
3.1.2氢终端金刚石表面p型电导特性
3.1.3氢终端金刚石表面空穴的输运特性
3.2氢终端金刚石场效应管的工作原理
3.2.1栅极结构和特性
3.2.2器件结构与工作原理
3.3氢终端金刚石场效应管特性的仿真研究
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