本书的主要内容包括：第一部分为引论与建模（包括：引论，光学和非光学相互结合的方法表征多孔氧化锆样品，宽光谱区薄膜表征的通用色散模型，从头计算预测光学特性）；第二部分为分光光度法和椭圆偏振光谱法（包括：薄膜的反射光谱成像法光学表征，成像分光光度法的数据处理方法，单层膜与多层膜的在线和离线分光光度法）；第三部分为缺陷和波纹的薄膜表征（包括：缺陷薄膜的光学表征，光学薄膜的扫描探针显微技术表征，共振波导光栅结构，深紫外线栅偏振片的偏振控制）。全书既讨论了表征技术的优点也没有规避表征技术的缺点。本书对于固体薄膜技术领域内的应用基础研究和工程技术研究具有重要的参考价值，适合从事薄膜技术研究和应用领域的工程技术人员、研究生和高年级本科生阅读和使用，参与固体薄膜表征任务的科学家或工程师都能从本书中获益。
部分 引论和模型1 引言1.1 考虑1.2 薄膜表征和质量控制1.3 书的结构2 作为光学和非光学表征方法之间相互影响的多孔氧化锆样品表征实例2.1 光学和非光学薄膜的表征2.2 基于强度测量的光学表征2.3 表征实例: 光学和非光学表征的相互影响2.4 结论参考文献3 宽光谱范围薄膜表征的通用色散模型3.1 引言3.2 理论背景3.3 元素激发的色散模型3.4 结论参考文献4 基于从头计算预测光学特性4.1 引言4.2 能带结构计算4.3 光学特性4.4 复杂系统的建模4.5 关于结果解释的几点注释4.6结论参考文献第二部分 分光光度法和光谱椭偏法5 用成像光谱反射法对薄膜进行光学表征5.1 引言5.2 成像光谱反射仪的研制与开发动机5.3 在正入射光照条件下的非显微成像光谱反射测量的简要说明5.4 ISR技术的实验设置5.5 成像光谱反射仪5.6 数据采集5.7 成像光谱反射仪的主要特点5.8 成像光谱反射仪的方法5.9ISR的精度和准确度5.10ISR的其它应用5.11结论参考文献6 成像分光光度法的数据处理方法6.1 挑战6.2 单谱模型6.3 多光谱处理6.4 全局数据处理6.5 结束语参考文献7单层和多层薄膜的在线和离线分光光度法表征: 基础7.1 引言7.2 理论7.3 从光学常数获得的更多信息7.4 结束语参考文献8 单层和多层膜的在线和离线的分光光度法表征II：实验技术和应用实例8.1 分光光度法中的实验技术8.2 实例8.3 结束语参考文献9 分层系统的椭偏法9.1 引言9.2 矩阵形式化9.3 椭圆测量理论9.4 应用9.5 结束语参考文献
2008.03-2011.03 同济大学，光学学科，博士研究生，理学博士；2002.09-2005.01 中国航天科工集团第三研究院，光学工程学科，工学硕士； 1998.09-2002.08 哈尔滨工业大学, 电子科学与技术, 本科, 工学学士。
