本书介绍了微纳米技术领域的各种微纳运动系统及相关实现技术。全书共7章:第1章主要是微纳技术及微纳技术应用与发展的综述;第2章主要介绍了基于智能材料的常见的微纳驱动技术类型及特性;第3章主要介绍了微纳运动检测技术;第4章概括性地介绍了微纳运动系统控制策略;第5章介绍了基于直线电机的单自由度微纳定位实现技术,主要是电磁式和压电超声式两种情况;第6章主要介绍了单自由度宏微复合微纳运动实现技术,并讨论了非线性因素对微纳运动性能的影响和补偿策略;第7章重点介绍了本书作者提出的宏宏复合微纳运动实现技术、性能特点及低速性能。
章绪论（1）1.1微纳技术的理解（1）1.2微纳技术的应用（3）1.3微纳运动实现技术及进展（22）第2章智能材料微纳驱动技术（31）2.1概述（31）2.2形状记忆合金微纳驱动技术（32）2.3超磁致伸缩材料微纳驱动技术（38）2.4压电陶瓷微纳驱动技术（41）2.5热微纳机电驱动技术（50）第3章微纳运动的传感检测（54）3.1概述（54）3.2微纳位移传感技术（54）3.3激光干涉微纳检测技术（74）3.4其他先进微纳检测技术（80）第4章微纳运动控制技术（83）4.1概述（83）4.2常用微纳运动控制策略（83）4.3其他先进控制策略及研究（100）第5章直线电机微纳运动系统技术（103）5.1概述（103）5.2电磁式直线电机微纳运动系统（104）5.3压电超声电机微纳运动系统（110）第6章宏微复合微纳运动实现技术（120）6.1概述（120）6.2宏微复合微纳运动系统（121）6.3宏微复合微纳运动系统的非线性影响及控制（124）6.4宏微复合微纳运动系统应用（135）第7章宏宏复合微纳运动实现技术（138）7.1宏宏复合微纳运动系统工作原理（138）7.2宏宏复合微纳运动系统的动力学模型（144）7.3宏宏复合微纳运动系统的低速特性（152）参考文献（164）
冯显英，1965年10月出生，党员，教授、博士生导师。中国机械工程学会不错会员、机器人分会委员，国家科学技术奖励、国家自然科学基金、教育部国家留学基金等评审专家，靠前外多家学术期刊特约审稿人。1998年获得博士学位，同年晋升为副教授，2001年9月至2003年1月在新加坡科技学院（现新加坡理工大学）进行合作研究，2003年晋升为教授、博士生导师。研究方向为智能检测与控制理论及技术、微纳超精加工理论与技术、机器人等智能装备理论与技术等。参加工作30余年来，一直从事机电一体化教学与科学研究工作，具有丰富的跨学科科研阅历和实际经验。近几年来，先后完成国家自然科学基金、国家重点研发计划等国*级项目8项，省部级重大专项等各类项目8项，授权发明10余项、实用新型30余项，完成企业委托项目50余项。其中多项课题成果已产业化，具有良好的经济效益和社会效益。发表学术论文90余篇，其中收录于SCI/EI 50余篇。主编、合著图书5部。获省部级科技进步奖二、三等奖及市级科技成果奖励多项。
