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硅微机械传感器
商品编号:3106859
ISBN:9787801446060
出版社:中国宇航出版社
作者: (荷)埃尔文斯波克,(荷)威杰林克 ,陶家渠,李应选 等译
出版日期:2003-09-01
开本:32
装帧:暂无
中图分类:TP212.12
页数:306
册数:1
大约重量:450(g)
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本书内容包括了MEMS介绍、微机械加工工艺、膜和梁的力学、机械变形换能、力和压力传感器、加速度和角速度传感器、流体传感器、谐振传感器、接口电路,以及MEMS封装。
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