本书重点介绍了作者课题组近几年来在国家自然科学基金、国防预研基金、重点实验室基金等一系列基础研究项目的支持下，在物理气相沉积硬质薄膜强韧化方法、理论、表征及强韧化薄膜应用领域的研究成果。主要论述了如何制备和表征具有强、韧性能的薄膜，包括薄膜的制备方法，薄膜强化技术，薄膜韧化技术，薄膜的强韧性能表征，薄膜内应力，强韧化薄膜实例。
第1章薄膜制备方法
1.1基本概念
1.1.1薄膜生长过程
1.1.2薄膜结构模型
1.1.3等离子体
1.2物理气相沉积
1.2.1蒸发镀膜
1.2.2溅射鍍膜
1.2.3离子镀膜
1.2.4离子束辅助气相沉积
1.3化学气相沉积
1.3.1化学反应原理
1.3.2化学气相沉积技术的分类和简介
1.3.3化学气相沉积过程及特点
1.3.4化学气相沉积技术在工模具上的应用
1.4气相沉积技术的应用及进展
1.5小结
第2章薄膜强化技术
1.1薄膜的强化方法
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杜军，北京航空航天大学大数据科学与脑机智能高精尖创新中心高级研发工程师，博士，硕士生导师。
