本书第一部分第1-4章描述了用于测量角度和位移的光学传感器，它们是精确纳米测量的基本量。提出了用于改善传感器灵敏度和带宽，减小传感器尺寸的技术以及开发了新的多轴感测方法。第二部分第5-10章介绍了许多用于表面形状和台阶运动的精确纳米测量的扫描型测量系统。在纳米制造中，最基本的几何形状——直线度和圆度测量的误差分离算法和系统，在第五章和第六章中进行了介绍。在第七章中，描述了微观非球面的测量，这需要扫描机理和探测技术的发展。在第8章和第9章中，描述了基于扫描探针显微镜的新型系统，用于针对新的、重要的纳米制造的微小挑战和纳米结构的精确纳米测量。第10章介绍扫描式图像传感器系统，它可以对长结构的微小尺寸进行快速，准确的测量。
第1章测量表面斜率和倾斜运动的角度传感器
1.1概述
1.2带有象限光电二极管的角度传感器
1.3带有光电二极管阵列的角度传感器
1.4带有单单元光电二极管的角度传感器
1.5小结
参考文献
第2章用于测量多轴倾斜运动的激光自准直仪
2.1概述
2.2双轴激光自准直仪
2.3单镜头激光微型自准直仪
2.4三轴激光自准直仪
2.5小结
参考文献
第3章用于测量面内运动的表面编码器
3.1概述
3.2用于MDOF面内运动的表面编码器
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